Комплексное решение для очистки воздуха в микроэлектронике

Комплексное решение для микроэлектроники

С успешным превращением Китая из «производственного гиганта» в «гиганта качественного производства» в стране появилось большое количество известных высокотехнологичных производственных предприятий, а также во многих местах по всей стране было реализовано и реализовано множество высокотехнологичных проектов.

Не так давно в Китае был построен завод по производству 12-дюймовых пластин, который будет заниматься исследованиями и разработками 19-нм техпроцесса для производства DRAM (динамической памяти с произвольным доступом). После ввода проекта в эксплуатацию максимальная ежемесячная производственная мощность достигнет 125 000 пластин, что позволит эффективно заполнить пробел в высокотехнологичной производственной отрасли DRAM в Китае и занять место среди мировых производителей DRAM.

Защитите «китайский чип»

Ввод в эксплуатацию этого проекта также станет драйвером комплексного развития всего региона дельты Жемчужной реки, включая оборудование, материалы, терминалы и другие аспекты. Можно сказать, что ввод в эксплуатацию этого завода по производству полупроводниковых пластин ускорит темпы промышленной трансформации и модернизации в провинции Хэфэй.

Сообщается, что к 2025 году Китай введет в эксплуатацию примерно 25 проектов по производству 12-дюймовых пластин, одним махом сломав отраслевую монопольную систему иностранных компаний.

Проблемы и трудности

Некоторые трудности также возникли при строительстве завода и закупке оборудования. С технической точки зрения, при использовании 19-нм техпроцесса для производства DRAM, область литографии желтого света в этом процессе чрезвычайно чувствительна к газу AMC. Даже незначительное отклонение от качества чистого воздуха в рабочей зоне напрямую повлияет на конечную норму выхода продукции. Таким образом, значение концентрации в технологической среде AMC должно строго контролироваться на протяжении всего производственного процесса.

Окончательное решение

Являясь одним из мировых лидеров в области решений для очистки воздуха, RZJ уже почти столетие занимается разработкой высокоэффективных и энергосберегающих решений по фильтрации для микроэлектронной промышленности, включая фильтрацию твердых частиц и фильтрацию AMC. Полный ассортимент продукции включает в себя воздушные фильтры грубой, средней и высокой эффективности, химические фильтры, бытовые фильтры, вытяжки с ламинарным потоком и другое очистное оборудование. В ответ на требования этого высокоуровневого и сложного процесса кристаллизации, компания AAF приняла решение по химической обработке газа с загрузкой FFU. Два химических фильтра были наложены поверх FFU, и были проведены испытания проб AMC на месте для быстрого и точного извлечения и организации данных о качестве воздуха в реальной среде, и на основе этого были сформулированы разумные решения.

Строгий контроль качества и комплексная система тестирования

С самого начала RZJ взяла на себя ответственность за защиту окружающей среды, снижение корпоративных рисков и сокращение расходов на очистку воздуха. В некоторой степени стремление к совершенству в своей продукции также проистекает из собственной практики. Сама AAF обладает чистыми помещениями из ПТФЭ класса 10 000 высокой чистоты, чистыми помещениями с высокоэффективными фильтрами, чистыми помещениями FFU, а также промышленными и коммерческими линиями по производству фильтров. RZJ оснащен передовым оборудованием. Производство осуществляется в соответствии со стандартизированными производственными процессами и строгими стандартами качества.

Кроме того, RZJ имеет полную систему тестирования. От фильтров грубой, средней и высокой эффективности до фильтров с высокой и сверхвысокой эффективностью, а также фильтрационного оборудования, RZJ проводит всесторонние эксплуатационные испытания продукции в соответствии с передовыми стандартами тестирования отрасли.