1. AMC - Международная ассоциация полупроводниковых технологий и материалов SEMI
Являясь важным участником в области фильтров, химические фильтры играют решающую роль благодаря своему профессионализму и специфичности. К его основным особенностям можно отнести: высокоэффективную фильтрацию, устойчивость к высокотемпературной коррозии, разнообразие фильтрующих материалов на выбор, удобную установку и обслуживание, интеллектуальность и т. д.
Химические фильтры являются важнейшими помощниками в решениях по контролю газообразных загрязнителей. AMC можно разделить на четыре типа: MA, MB, MC и MD. МА является коррозионным веществом, а его характерной особенностью химической реакции является акцептор электронов. Обычно в его состав входят фтористоводородная кислота, газообразный хлор, серная кислота и другие вещества, которые выделяются в процессе фотолитографии и травления.
MB является коррозионным веществом, и его химическими характеристиками являются доноры электронов, включая NH3 и амины. МК обычно относится к органическим соединениям, которые имеют температуру кипения более 150°C при нормальном давлении и склонны к конденсации на поверхности предметов. MD относится к химическому элементу, который может изменять электропроводность полупроводниковых материалов.
2. Место установки химических фильтров должно учитывать конкретные сценарии применения. Основные соображения включают: источник загрязняющих веществ, эффективность очистки и конструкцию системы и т. д. Они обычно устанавливаются в таких системах, как коробки для кондиционирования свежего воздуха, коробки для циркуляции рециркуляционного воздуха, фильтрующие блоки вентиляторов и микросреды.
3. Контроль AMC может быть достигнут с помощью системы фильтрации воздуха в газовой фазе, в которой используется один или несколько осушающих и очищающих сред. Выбор материалов для химических фильтров в этой системе отличается разнообразием и интеллектом, предоставляя пользователям более целенаправленные варианты.
4. Химические фильтры широко используются в промышленных производственных процессах, таких как гальваническое покрытие, производство полупроводников, медицинское обслуживание, лаборатории и обработка окружающей среды. Они обеспечивают безопасность производственной среды за счет адсорбции и нейтрализации кислых/щелочных газов и органических отходов.
