КУА
Классификация КУА Международной ассоциацией полупроводниковой промышленности (SEMI)
SEMI F21-1016 Классификация уровней молекулярных загрязнителей в воздухе в чистых средах
Опасности КУА
- Образование химической газовой пленки на поверхности Чистота поверхности кремния Чистота стеклянной подложки Поверхность оптической линзы Металлическая поверхность Пластиковая поверхность
- Изменение свойств поверхности Химические свойства (например, коррозия металла) Электрические свойства (например, ионная имплантация) Физические свойства (например, модификация поверхности, генерация статического заряда) Оптические свойства (например, изменения фотосопротивления, выход фотолитографии)
- Образование твердых частиц "тумана" NH3 + SO2 → Соль Щелочной газ + кислый газ → соль
- Требования EHS для окружающей среды в чистых помещениях (ЛОС, кислые газы) Причинение вреда здоровью и благополучию сотрудников Приложения для химической безопасности и требования к рискам в чистых помещениях, такие как UL и FM...